研磨墊及其製造方法
專利資料
專利公告號 I595968 公告日 西元 2017 8 21
發明/創作名稱 研磨墊及其製造方法
英文專利名稱 POLISHING PAD AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
申請號 105125562 申請日 西元 2016 8 11
證書號 I595968 專利權到期日 西元 2036 8 10
專利類型 發明 公報卷/期 輯 / 第44 卷 / 第24
國際分類號 B24B-037/22(2012.01);B24B-037/26(2012.01);B33Y-080/00(2015.01) 產業別 機械類
專利特點概述
一種研磨墊,包含:一基部,及多個凸出該基部的研磨部,該基部與該等研磨部共同界定出多個溝槽,該等研磨部共同形成一研磨表面,該等溝槽的開口相鄰該研磨表面,且其中至少一部分溝槽在開口處的寬度不大於溝槽內部的寬度,而且至少一部分研磨部具有至少一隧道以連通位於對應研磨部兩側的該等溝槽,每一隧道具有兩個端部及一介於該兩端部之間的中間部,且該中間部垂直於該研磨表面的截面積大於該兩端部垂直於該研磨表面的截面積。
發明圖式/照片
圖例1-研磨墊及其製造方法
聯絡人資料
發明人姓名 宋建宏;林冠廷
專利權人姓名 宋建宏;林冠廷
專利權人電話 0987792899
專利權人住址 臺北市民權東路3段103巷5弄15號5樓之3
專利權人E-mail sungchbobul@gmail.com
合作開發方式
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