薄膜製造方法
專利資料 | |||
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*專利公告號 | I469252 | 公告日 | 西元 2015 年 1 月 11 日 |
*發明/創作名稱 | 薄膜製造方法 | ||
英文專利名稱 | METHOD FOR PRODUCING A THIN FILM | ||
申請號 | 097121038 | 申請日 | 西元 2008 年 6 月 6 日 |
證書號 | I469252 | 專利權到期日 | 西元 2028 年 6 月 5 日 |
專利類型 | 發明 | 公報卷/期 | 第 輯 / 第42 卷 / 第2 期 |
國際分類號 | H01L-021/76(2006.01);H01L-021/31(2006.01) | 產業別 | 光電液晶類-平面顯示器 |
專利特點概述 |
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一種薄膜製造方法,其包括下列步驟:提供一原始基板;形成一蝕刻停止薄膜層於該原始基板上;形成至少一犧牲層於該蝕刻停止薄膜層上;植入氣體離子,其係利用一離子佈植技術,由該犧牲層植入氣體離子並穿越該蝕刻停止薄膜層,並在該原始基板內形成一離子分佈濃度高峰層以界定出一有效轉移薄膜層及一剩餘層;移除犧牲層;以及分離該有效轉移薄膜層與該剩餘層,其係藉由一輸入能量處理使植入之離子聚合化而使其分離之。 |
發明圖式/照片 | ||
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聯絡人資料 | |||
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*發明人姓名 | 李天錫;黃敬涵;張朝喨;楊耀渝 | ||
發明人E-mail | tien.hsi,[email protected] | ||
*專利權人姓名 | 李天錫 | ||
專利權人電話 | 0966-638-745;02-23681439 | ||
*專利權人住址 | 臺北市中正區羅斯福路3段128巷11之1號 | ||
專利權人E-mail | tien.hsi,[email protected] |
合作開發方式 |
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進一步接洽 | |
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